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本发明涉及一种垂直FinFET器件及制备方法、电子装置。所述垂直FinFET器件包括:半导体衬底;柱形鳍片,位于所述半导体衬底上;金属栅极,环绕设置于目标高度的所述柱形鳍片的侧壁上;其中,所述金属栅极包括栅极介电层,在所述柱形鳍片的侧壁上所...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。