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结晶性氧化物半导体膜、半导体装置及半导体系统制造方法及图纸
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文档序号:17470443
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本发明提供一种电特性优异的结晶性氧化物半导体膜。本发明提供一种结晶性氧化物半导体装置,以及结晶性氧化物半导膜的结晶性氧化物半导体系统。作为本发明的目的之一,提出一种结晶性氧化物半导体膜。结晶性氧化物半导体膜含有:结晶性氧化物半导体,具有刚玉...
该专利属于流慧株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过流慧株式会社授权不得商用。
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