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提供测量装置，其测量板状物(晶片(10))的厚度或高度，包含：发出光的脉冲宽带光源(82)；传递脉冲光并按照不同波长分光并使其逆行的光纤布拉格光栅(83)；分支出逆行的脉冲光并传递给光纤的光纤传递构件(83a)；测量端子(81)，其将光纤端...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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