下载一种多晶硅片直接成型的方法及其装置的技术资料

文档序号:17460335

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本发明为一种多晶硅片直接成型的方法及其装置。该方法具体是:利用内部压力可控的坩埚,将已经熔化的硅液铸压到特定的铸模模腔内;定向凝固块的温度低于硅的熔点温度;硅液在定向凝固块的过冷度驱动下开始从上向下定向凝固并吸附在定向凝固块形成面上;该形成...
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