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本发明公开了一种籽晶夹头及直拉单晶炉，所述籽晶夹头中设置一中空结构，所述中空结构贯通所述籽晶夹头的上下两端。将其应用于直拉单晶炉中，使得所述直拉单晶炉中的惰性保护气体(如氩气)可以通过所述中空结构冷却晶棒头部的中间部分，与晶棒的边缘散热速度...
该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。

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