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本发明公开了一种高介电常数薄膜的制备方法，方法包括以下步骤：(1)将前驱体原料、催化剂、无水醇类溶剂以及去离子水混合，制备溶胶先驱；(2)将步骤(1)得到的溶胶先驱置于基板上形成液膜，再将覆有液膜的基板放置于加热板上进行固化，得到固体膜；(...
该专利属于周燕红所有，仅供学习研究参考，未经过周燕红授权不得商用。

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