下载具有有凹口的台面的场效应晶体管结构的技术资料

文档序号:17445619

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一种场效应晶体管结构包括:半绝缘衬底;半导体台面结构,布置在所述衬底上并且在所述台面结构的外侧壁中具有凹口;源电极,布置在相对侧壁内,与所述台面结构的源极区域欧姆接触;漏电极,布置在所述相对侧壁内,与所述台面结构的漏极区域欧姆接触;栅电极,...
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