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公开了用于切割基板的方法和设备。在一种设置中，在基板的表面形成多个凹部。这样的凹部使得能够对由凹部应力集中的基板施加应力。集中的应力使基板沿着穿过凹部的切割线断裂。通过凹部的裂缝的扩展进行切割。...
该专利属于爱尔兰戈尔韦国立大学所有，仅供学习研究参考，未经过爱尔兰戈尔韦国立大学授权不得商用。

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