下载一种LED外延生长的方法的技术资料

文档序号:17443559

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本发明公开了一种LED外延生长的方法,包括:处理衬底、生长低温GaN成核层、生长高温GaN缓冲层、生长非掺杂u‑GaN层、生长N型GaN层、生长量子阱层、生长电子阻挡层、生长高温P型GaN层和生长InxGa1‑xN:Si/AlyGa1‑yN...
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