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本发明公开了一种用于制备HIBC电池的异质结非晶硅层的掩膜板，包括：底座和盖板。所述底座包括容置凹槽，所述容置凹槽用于容置HIBC电池中待沉积异质结非晶硅层的基底。所述盖板覆设在所述底座上，所述盖板上设置有露出所述容置凹槽的开口，开口上设置...该专利属于青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司所有，仅供学习研究参考，未经过青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司授权不得商用。