下载包括超级结结构的半导体器件的技术资料

文档序号:17443527

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本发明涉及包括超级结结构的半导体器件。实施例的半导体器件包括半导体主体(101)的晶体管单元区域(103)中的晶体管单元(102)。半导体主体(101)中的超级结结构(104)包括分别为相对的第一和第二导电类型且沿着横向方向(x)交替布置的...
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