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多层金属线栅结构薄膜宽带太赫兹偏振器及其制造方法技术
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文档序号:17441344
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本发明公开了一种多层金属线栅结构薄膜宽带太赫兹偏振器及其制造方法,它包括薄膜衬底(1),在薄膜衬底(1)上方设有薄膜覆盖层(2),在薄膜覆盖层(2)内设有多层由金属线(3)间隔设置组成的金属线栅(4),且相邻层的金属线栅(4)交叉设置。本发...
该专利属于浙江科技学院所有,仅供学习研究参考,未经过浙江科技学院授权不得商用。
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