下载多层金属线栅结构薄膜宽带太赫兹偏振器及其制造方法的技术资料

文档序号:17441344

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本发明公开了一种多层金属线栅结构薄膜宽带太赫兹偏振器及其制造方法,它包括薄膜衬底(1),在薄膜衬底(1)上方设有薄膜覆盖层(2),在薄膜覆盖层(2)内设有多层由金属线(3)间隔设置组成的金属线栅(4),且相邻层的金属线栅(4)交叉设置。本发...
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