下载基于超声聚集方法的纳米气体传感器加工工艺的技术资料

文档序号:17440929

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本发明公开了一种基于超声聚集方法的纳米气体传感器加工工艺,包括以下步骤:将纳尺度材料悬浊液的液滴滴在设于超声台或光滑基板上的超声针系统上;利用上述超声针系统中的超声物理效应在光滑基板或超声台上形成纳尺度材料的聚集物;将纳尺度材料的聚集物转印...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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