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一种双腔单振子压电泵制造技术
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下载一种双腔单振子压电泵的技术资料
文档序号:17439458
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本发明公布了一种双腔单振子压电泵,包括上泵体、中泵体、下泵体、双晶片压电振子、瓣膜阀;上、下泵体各有一个泵腔入口,在入口处安装瓣膜阀,下泵体和上泵体通过中泵体进行连接,在中泵体和下泵体之间安装双晶片压电振子,里侧的两个对称出口腔完全位于下泵...
该专利属于长春工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春工业大学授权不得商用。
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