温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种大口径光学抛光系统的气动压力控制，利用压力传感器和比例阀及多组双模态PID控制算法构建了闭环压力控制系统，以实现高精度、高稳定性的抛光盘压力控制。该压力控制系统能够较好的满足项目中对施加在磨盘上的压力的要求。在不同的扰动及控制要求下，具...
该专利属于李征所有，仅供学习研究参考，未经过李征授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。