下载一种扩散炉的气体均流装置的技术资料

文档序号:17428535

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本实用新型公开一种扩散炉的气体均流装置,包括进气管、分流器、缓冲器、分布板;所述缓冲器一端与炉管进气口端密封连接,另一端设置容纳进气管一端的通孔;所述分布板设置在缓冲器与炉管进气口端的连接处;所述分流器内置于缓冲器,且其进气口与进气管一端垂...
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