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一种分体式复合保护坩埚制造技术
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下载一种分体式复合保护坩埚的技术资料
文档序号:17428527
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本实用新型公开了一种分体式复合保护坩埚,属于单晶硅生产技术领域。其包括坩埚底部和坩埚侧壁,坩埚底部为分瓣式结构,坩埚侧壁由一段或多段筒圈组成,每段筒圈均为一体式结构,坩埚底部的高度不超过坩埚整体高度的一半,坩埚底部为石墨材质,坩埚侧壁为C/...
该专利属于宁晋晶兴电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁晋晶兴电子材料有限公司授权不得商用。
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