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本发明涉及一种制造设备的方法，其中提供包括凹部(11)的基底(10)。大量松散颗粒(12)被引入到凹部(11)中。采用具有从凹部(11)的开口(11d)沿着深度(14)的方向延伸到凹部(11)中的穿透深度的涂覆工艺涂覆颗粒(12)的第一部分...
该专利属于弗劳恩霍夫应用研究促进协会所有，仅供学习研究参考，未经过弗劳恩霍夫应用研究促进协会授权不得商用。

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