下载大面积拉曼增强基底的制备方法及其产品和应用的技术资料

文档序号:17419281

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本发明提供一种大面积拉曼增强基底的制备方法及其产品和应用,所述方法包括:在光滑玻璃或者单晶硅片基底利用磁控溅射共溅射制备一层Ag纳米薄膜,以及在此基础上利用原子层沉积制备一层Al2O3纳米薄膜,在此技术之上再利用磁控溅射制备一层Ag纳米薄膜...
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