温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于半导体装置的衬底包含填充延伸穿过所述衬底的至少一个穿透孔的聚合物材料和安置于所述穿透孔内并延伸穿过所述聚合物材料的至少一个光波导。所述光波导的折射率大于所述聚合物材料的折射率。...
该专利属于日月光半导体制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日月光半导体制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。