下载一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板的技术资料

文档序号:17410311

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板,其中,该方法包括:形成金属薄膜;在金属薄膜上沉积保护薄膜;将暴露于保护薄膜外的金属进行刻蚀处理,以消除暴露于保护薄膜外的金属;剥离保护薄膜,本发明提供的技术方案通过在金属薄膜上沉积保护...
该专利属于合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。