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本发明涉及具有至少一个用于容纳晶圆的舟板的PECVD舟，用于进入和离开真空镀膜室。本发明所解决的问题是提出一种低质量的用于容纳晶圆并将晶圆送入及送出真空室的PECVD舟，其通过更大的晶圆容量、缩短的过程周期以及加热和均匀化阶段的能源节省来实...
该专利属于科恩迈尔特种石墨集团有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过科恩迈尔特种石墨集团有限责任公司授权不得商用。

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