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具有石墨烯掩埋源极和纵向栅极的GaNHEMT元胞结构制造技术
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下载具有石墨烯掩埋源极和纵向栅极的GaNHEMT元胞结构的技术资料
文档序号:17393640
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本实用新型公开了一种具有石墨烯掩埋源极和纵向栅极的GaN HEMT元胞结构,源极通过金属材料与石墨烯掩埋散热层连接;器件采用纵向栅极结构,将传统的HEMT器件中长的横向沟道开启模式转变成短的纵向沟道开启模式,栅极由长的横向电流控制沟道转变为...
该专利属于北京华进创威电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京华进创威电子有限公司授权不得商用。
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