下载具有石墨烯掩埋源极和纵向栅极的GaNHEMT元胞结构的技术资料

文档序号:17393640

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本实用新型公开了一种具有石墨烯掩埋源极和纵向栅极的GaN HEMT元胞结构,源极通过金属材料与石墨烯掩埋散热层连接;器件采用纵向栅极结构,将传统的HEMT器件中长的横向沟道开启模式转变成短的纵向沟道开启模式,栅极由长的横向电流控制沟道转变为...
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