温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种单晶硅炉退火装置，包括主炉室、副炉室与加热器，所述主炉室设置在底部，在所述主炉室顶部设有副炉室，所述副炉室内部设有退火腔，所述退火腔内设有加热器，所述加热器包括加热片单元，加热片单元为环形，依次进行叠加固定，形成圆筒状，每若干个加热片单...
该专利属于晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。