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本发明提供一种GPP整流芯片光刻工艺用对准版图，将传统的单纯十字线图形方案改进为有三个对准区域的对准方案，既有利于粗调找对准记号、又有利于精调对准图形，不但提高了功效还能提高产品质量，且不增加任何制造成本。...
该专利属于黄山硅鼎电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过黄山硅鼎电子有限公司授权不得商用。

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