下载一种判断挡板走位精度的掩膜版及其方法的技术资料

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本发明提供了一种判断挡板走位精度的掩膜版,包括主曝光区、设置于主曝光区相对的两侧的第一曝光区、第二曝光区、第一曝光区包括第一标尺,第一标尺包括第一尺身、第一分界线、第一刻度,分布在第一分界线两侧的第一刻度分别设置于第一尺身的两侧,第二曝光区...
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