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换能器模块和电子装置制造方法及图纸
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下载换能器模块和电子装置的技术资料
文档序号:17386000
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本公开的实施例涉及一种换能器模块和电子装置。该换能器模块(11)包括:衬底(23);在该衬底上的帽盖(27),该帽盖限定腔室(8);以及在该腔室(8)中的传感器模块(21),该传感器模块集成面向该腔室(8)的第一MEMS换能器(12’;53...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。
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