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本实用新型提供了一种MEMS芯片，包括衬底，以及支撑在衬底上的极板，所述衬底与所述极板之间形成容纳空间，还包括被自由设置在所述容纳空间中的敏感膜，所述敏感膜与极板构成了电容器结构；在所述容纳空间内设置有限位柱，所述限位柱穿过所述敏感膜，以限...
该专利属于歌尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔科技有限公司授权不得商用。

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