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本实用新型公开了一种单向上料装置及其分光设备。一种单向上料装置，包括移料机构，设于移料机构下方的换向机构，及位于换向机构上方的检测机构；所述移料机构的上料端设有上料吸嘴，卸料端设有卸料吸嘴；所述换向机构设有用于承载工件的转台，及用于驱动转台...
该专利属于深圳市华腾半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华腾半导体设备有限公司授权不得商用。

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