温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及多晶硅块滚磨加工领域,旨在提供一种用于多晶一体机硅块自动上下料装置。该种用于多晶一体机硅块自动上下料装置包括地轨、导轨、拖链和上下料部件,上下料部件中的底座与拖链连接,地轨、拖链能将底座上的机器人移动到需要上下料的设备位置。本...该专利属于杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。