温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基板吸附装置，其包括：底板，所述底板上设置有进气口，所述进气口的一侧连接负压源；面板，所述面板设置在所述进气口的另一侧，所述面板上设置有若干通孔；还包括气流均布装置，所述气流均布装置至少包括设置于所述底板与所述面板之间的分流板，所述分流...
该专利属于南京协辰电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京协辰电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。