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本实用新型涉及具有氧化物层的晶片的抛光系统，该晶片的底面形成有透光性材质的抛光层，其包括：抛光垫，在抛光平板上进行旋转；光照射部，向晶片的抛光层照射光；调节器，一边对抛光垫进行加压，一边进行改性；光接收部，用于接收从抛光层的互不相同的第一位...
该专利属于凯斯科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过凯斯科技股份有限公司授权不得商用。

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