温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种适用于大直径硅片表面处理的提篮，包括：底板；以及支撑板，垂直设置在所述底板两侧；支撑架，垂直所述底板和支撑板，横向平行排列固定在所述底板和支撑板上；排气孔，均匀设置在所述底板上，所述排气孔排列的方向与所述支撑架垂直；还包...
该专利属于锦州神工半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过锦州神工半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。