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本实用新型公开了一种晶圆打光装置，涉及了打光设备领域，包括支架组件、光源组件、相机、支架安装座、夹料平台以及相机安装架；支架安装座、夹料平台、相机安装架由上至下依次组合安装在一起，光源组件固定在支架组件上，待打光的晶圆放置在夹料平台上，且位...
该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大族激光科技产业集团股份有限公司授权不得商用。

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