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本实用新型公开了一种发光器件测试系统的导电保护结构,解决了常见发光器件测试系统中容易发生光参数测试装置与载片台异常碰撞的情况,造成光参数测试装置的损伤的问题,其技术方案要点是,包括:控制中心;设于一用于承载被测发光器件的载片台上、与所述控制...该专利属于深圳市矽电半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市矽电半导体设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种发光器件测试系统的导电保护结构,解决了常见发光器件测试系统中容易发生光参数测试装置与载片台异常碰撞的情况,造成光参数测试装置的损伤的问题,其技术方案要点是,包括:控制中心;设于一用于承载被测发光器件的载片台上、与所述控制...