下载外延Ⅲ族氮化物中的掺杂阻挡层的技术资料

文档序号:17367231

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一种半导体结构具有直接接触的Ⅲ‑N族缓冲层(16)和Ⅲ‑N族阻挡层(18),以在Ⅲ‑Ⅴ族缓冲层与所述Ⅲ‑N族阻挡层之间形成结(20),从而产生二维电子气(2DEG)沟道,Ⅲ‑N族阻挡层具有变化的掺杂剂浓度。Ⅲ‑N族阻挡层的最接近于结的下部区...
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