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本实用新型提供了一种多晶硅用坩埚，内壁涂层包括：复合于坩埚侧壁和底面的氮化硅涂层；复合于坩埚侧壁氮化硅涂层表面的颗粒层；复合于颗粒层表面的第二氮化硅涂层；所述第二氮化硅涂层具有若干孔眼，使颗粒层裸露。本实用新型通过在第二氮化硅涂层上设置孔眼...
该专利属于浙江昱辉阳光能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江昱辉阳光能源有限公司授权不得商用。

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