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本发明提供用于确定在多重图案化步骤工艺中印刷于晶片上的设计的不同图案化特征之间的叠加误差的方法及系统。对于多重图案化步骤设计，使用第一图案化步骤的所述设计作为参考且使剩余图案化步骤中的每一者的设计合成偏移，直到所述合成偏移的设计基于全局图像...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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