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本实用新型属于管内壁薄膜沉积领域，具体来讲是一种沉积管内壁涂层的电弧离子镀设备。该设备包括置于真空室内的管状等离子靶材，管状真空聚焦永磁体，等离子弧引弧装置，其中，管状等离子靶材的两端通过绝缘密封法兰与真空室壳连接上，管状工件非接触套于管状...
该专利属于曲士广;华伟刚所有，仅供学习研究参考，未经过曲士广;华伟刚授权不得商用。

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