下载用于镜片覆层的装置、方法和用途的技术资料

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提出了用于对镜片进行覆层的一种装置、一种方法以及一种用途,待覆层的镜片成对地布置在平行的管状靶材上方,这样它们分别地覆盖靶材的均质沉积区域和不均质沉积区域,并且镜片旋转,所以实现了特别均匀的覆层。...
该专利属于施耐德两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过施耐德两合公司授权不得商用。

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