下载多晶硅还原炉用新型石墨组件的技术资料

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一种多晶硅还原炉用新型石墨组件,包括卡帽、卡座、卡瓣,所述卡瓣的高度不高于卡帽的顶部的最高高度,本实用新型中,降低了卡瓣的高度,在卡瓣中间固定的硅芯完全暴露在还原炉的高温气氛中,而卡瓣周围的高温气氛较少,温度较低,多晶硅只会围绕硅芯生长,而...
该专利属于石嘴山市新宇兰山电碳有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过石嘴山市新宇兰山电碳有限公司授权不得商用。

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