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本发明涉及一种半导体设备用布线基板及其加工工艺，属于半导体装置技术领域。该半导体设备用布线基板，包括基板、冷却液箱、循环泵和散热装置，基板自内至外包括基板本体、缓冲层、非晶硅层和保护层，基板本体内设置有散热管路，散热管路、循环泵、冷却液箱和...
该专利属于镇江佳鑫精工设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镇江佳鑫精工设备有限公司授权不得商用。

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