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本发明涉及一种晶硅太阳电池石墨舟及其饱和处理方法,通过饱和处理工艺使得述SiNx膜和晶硅太阳电池石墨舟之间还镀有一层SiC膜,可以起到保护石墨舟的作用,增加石墨舟的使用寿命,使石墨舟的使用寿命延长2年,在SiC膜基础上镀一层SiNx可有效的...该专利属于西安黄河光伏科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安黄河光伏科技股份有限公司授权不得商用。
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