温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法，先按BaZr0.2Ti0.8O3的化学计量比，称取原料BaCO3、ZrO2和TiO2，于1200℃烧制BaZr0.2Ti0.8O3即BZT靶材；再将Pt‑Si衬底放入脉冲激光沉积制品台上，将...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。