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本发明公开了一种基于样板干涉法的平面面形误差在线检测装置和方法，该装置包括：样板、待测件、平面LED光源、干涉条纹采集单元、平面面形误差检测单元和控制单元；平面LED光源的正面为照射面且相对样板设置；平面LED光源用于提供多种波长的均匀照明...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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