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本发明涉及一种用于沉积多晶硅的反应器，其包括金属底板，放置在所述金属底板上并与其形成气密密封的可冷却的钟形罩，用于供应气体的喷嘴和用于除去反应气体的开口，以及用于丝棒的固定器和用于电流的输入引线和输出引线，其中涂布所述钟形罩的内壁，其特征在...
该专利属于瓦克化学股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦克化学股份公司授权不得商用。

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