下载一种n‑p‑p+结构电池的制备方法的技术资料

文档序号:17348601

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本发明公开一种n‑p‑p+结构电池的制备方法,本发明在p+层表面先镀AlOx/SiNx钝化层,然后在此之上再叠加一层氮化硅层,背面的膜结构同时起到钝化及掩模的作用,可有效避免卡点印或掉渣问题破坏掩模层,另外由于不需要清洗掉掩模,也可避免原来...
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