下载倒U栅辅控双侧栅主控双向隧穿晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:17348567

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本发明涉及倒U栅辅控双侧栅主控双向隧穿晶体管及其制造方法,本发明所述器件具有倒U栅、双侧栅和左右两侧对称的结构特征,可以通过调节源漏可互换电极的电压控制重掺杂源漏可互换区作为源区或漏区,改变隧穿电流方向。本发明具有可实现双向开关功能、低静态...
该专利属于沈阳工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳工业大学授权不得商用。

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