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本发明公开了一种有机薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示装置，其中，有机薄膜晶体管阵列基板及其制备方法包括：提供基板；在所述基板上依次沉积第一金属层、透明电极层以及光阻层；利用第一半透光罩进行图案化处理，以形成数据线、源极、漏极以及像素电极...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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