下载半导体器件结构中温度效应的补偿的技术资料

文档序号:17348468

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本发明涉及半导体器件结构中温度效应的补偿。本公开提供了一种半导体器件结构,其包括:具有绝缘体上半导体(SOI)区和混合区的衬底,其中,SOI区和混合区被至少一个隔离结构隔开,该SOI区由设置在衬底材料之上的半导体层形成,并且掩埋绝缘材料被插...
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